石英ガラス製品 半導体製造装置の中国メーカー

素材

当社では原料から材料製造まで、一貫してプロデュースすることで高品質な材料の提供を可能としております。

電気溶融石英

AlCaCuFeKLiMgNa
171.7
0.11.63.80.741.51.8
AlCaCuFeKLiMgNa
140.130.070.20.50.40.050.66

取扱形状:                                   
管 φ3-400
棒 φ3-60
板 W300*T4-8*L 2000

酸水素溶融石英

AlCaCuFeKLiMgNa
200.010.010.40.51.20.051.5
AlCaCuFeKLiMgNa
150.40.020.20.50.40.050.8

取扱形状:                                    
管 φ400
棒 φ250*2000
角 1300*1300*200 丸1300*H200

合成石英

AlCaCuFeKLiMgNa
<0.12
<0.16<0.01<0.05<0.04
<0.01
<0.02<0.09

OH値 1100ppm 
四塩化珪素

AlCaCuFeKLiTi
Na
2.11
0.940.070.920.95
0.41
0.430.58

OH値 5ppm
中国産合成石英砂

低OH基石英

AlCaCu
FeKLiTi
Na
2.11
0.940.070.920.95
0.41
0.430.58
AlCaCuFeKLiTi
Na
12.14
0.40.020.20.60.41.2
0.8
AlCaCuFeKLiTi
Na
17
0.590.150.860.38
2.3
1.1
1.8

取扱形状:                  

角 600*600*H150丸600*H150
OH量 5ppm以下

不透明溶融坩堝

AlCaCuFeKLiB
Na
20
1.50.1133
0.33
AlCaCuFeKLiB
Na
15
0.60.050.30.70.70.11.0

AlCaCuFeKLiBNa
8.1
0.70.010.20.1
0.74-
0.2

取扱形状:                                                                                                         
8インチ-36インチ

不透明溶融石英

AlCaCuFeKLiMgNa
651.21
0.131.174.47.210.07
5.0
AlCaCuFeKLiMgNa
451.5
0.151.02.51.50.75
5.0
AlCaCuFeKLiMgNa
250.8
0.10.51.60.30.1
2.2

取扱形状:                                                                                                 
管 φ100-1000mm

フランジ

上記の数値は代表値でPPM単位です。


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